ライス大ナノフォトニクス研、電子顕微鏡、微小製造装置に

　米ライス大学ナノフォトニクス研究所のＮ・ハラス所長らは、既存の電子顕微鏡を改良してナノ（ナノは１０億分の１）メートルサイズの微細構造物の作製や評価ができる装置を開発した。揮発性材料や環境の変化で性能が劣化しやすい微小素子を装置から出さないで済む。全米科学財団（ＮＳＦ）から約１００万ドル（約８０８０万円）の研究助成金を受けた。
　電子顕微鏡の中で特に普及している走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を改良した。ＳＥＭは観察専用の装置だが、真空容器内を改良して電子線で材料の堆積やエッチング、複雑な配線加工をできるようにした。さらに超小型のマニピュレーターを取り付け、らせん構造のＤＮＡ（デオキシリボ核酸）より小さい物をつかんで移動させることが可能。電子線が物質に当たって発生する光を使う光学測定もできるという。