深紫外レーザー光、変換効率６割向上、中央大、結晶配置や接合改良。

中央大学の庄司一郎教授らは、半導体の微細加工などに使う深紫外レーザー光の変換効率を高める技術を開発した。レーザー光の波長を変換する結晶の配置と接合法を改良し、従来より６０％多く変換できることを確かめた。今後の改良で効率をさらに引き上げられるとみている。深紫外光の実用化にはずみをつける成果といえそうだ。 　成果は２２日まで米国ハワイ州で開く非線形光学の国際会議で発表する。 　深紫外光は、波長が約２００ナノ（ナノは１０億分の１）メートル～３００ナノメートル。ホウ酸バリウムの結晶に同５００ナノメートル前後の緑色レーザー光を通して波長を半分にする。今回、厚さ０・４ミリの結晶を２４枚重ね、両端を同０・２ミリの結晶で挟んだ素子を試作し、隣り合う結晶同士が原子レベルで結合するようにした。これまでの素子は、同じ厚さの結晶を２枚張り合わせて作っていた。 　深紫外光はエネルギーが高く、半導体の微細加工に使えるうえ、波長が生物の細胞に作用しやすく、殺菌や有害化学物質の分解にも期待されている。しかし光源の緑色レーザー光の発生効率が低いうえ、深紫外光への変換効率が低いことから産業利用が遅れている。